109與我廠合作研制出國內(nèi)第一臺接觸式光刻機(jī)

中國光刻機(jī)技術(shù)的起源可以追溯到上世紀(jì)六十年代，那是一個科技探索與創(chuàng)新的時代。1966年，中國科學(xué)院下屬的109廠與上海光學(xué)儀器廠攜手合作，共同邁出了歷史性的一步，成功研制出我國首臺65型接觸式光刻機(jī)。這不僅是技術(shù)上的突破，更標(biāo)志著中國在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的初步探索，當(dāng)時由上海無線電專用設(shè)備廠負(fù)責(zé)將其推向量產(chǎn)階段。

接觸式光刻機(jī)作為光刻技術(shù)的開山之作，開啟了光刻機(jī)技術(shù)的演進(jìn)之路。從最初的接觸式，光刻技術(shù)逐漸發(fā)展到接近式，這種技術(shù)通過掩膜與晶圓不直接接觸，避免了污染和磨損的問題。隨后，更為先進(jìn)的分步重復(fù)式光刻機(jī)問世，它能夠進(jìn)行多次曝光，提高了生產(chǎn)效率和精度。進(jìn)入八十年代，倍投影光刻技術(shù)和步進(jìn)式縮小投影光刻技術(shù)相繼出現(xiàn)，極大地提升了光刻的分辨率和產(chǎn)量。

步進(jìn)掃描式投影光刻機(jī)的出現(xiàn)，進(jìn)一步推動了光刻技術(shù)的精密化和自動化，使得大規(guī)模集成電路的制造成為可能。而到了二十一世紀(jì)，極紫外光刻機(jī)（EUV）成為了全球光刻技術(shù)的最前沿。EUV光刻機(jī)采用13.5納米波長的極紫外光線，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級別的精細(xì)圖案轉(zhuǎn)移，是目前制造最先進(jìn)半導(dǎo)體芯片不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。

中國光刻機(jī)技術(shù)的發(fā)展歷程見證了從無到有，從簡陋到先進(jìn)的跨越。盡管在某些高端光刻技術(shù)上，如EUV光刻機(jī)，中國與世界領(lǐng)先水平仍有差距，但國產(chǎn)光刻機(jī)的技術(shù)進(jìn)步和自主研發(fā)能力的提升，正逐步縮短著這一距離。隨著持續(xù)的研發(fā)投入和技術(shù)積累，中國在光刻機(jī)領(lǐng)域的未來充滿希望，有望在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中扮演更加重要的角色。